‘소 / 부 / 대장’기술자 설립 공모 … 12 인치 반도체 테스트 베드 오픈

사진 = 오늘의 이미지
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국내에서는 삼성 전자, SK 하이닉스 반도체 등 대기업 반도체 업체에서 요구하는 12 인치 웨이퍼의 소재 균일 성, 불량 등 완전성 평가가 가능 해졌다.

과학 기술 정보 통신부는 나노 종합 기술원 (이조원 원장, 이하 기)에 12 인치 반도체 테스트 베드 (이하 12 인치 테스트 베드) 준공 -종원)은 국내 최초로 국내 산업계, 학계, 연구계 사용자들에게 17 일부터 공식 서비스를 제공했다. 16 일 홍보한다고 발표했다.

반도체 생산 용 소재 및 부품은 2019 년 7 월 일본 수출 규정에 따라 한국에서 소재, 부품, 장비 (이하 이사라 함)의 기술적 독립성을 인식 한 대표적인 품목이다.

일본의 수출 규제 이전에도 국내 반도체 자회사는 국내 대기업의 생산 환경과 유사한 12 인치 테스트 베드가 없었기 때문에 대기업 납품에 필요한 평가 결과를 얻는 데 어려움이 많았다.

따라서 대부분의 중소기업은 해외 테스트 베드 나 종 기원의 8 인치 장비를 사용하여 많은 시간과 비용을들이는 기본 평가 수준에서 필연적으로 만족했다.

이를 해결하기 위해 과학 기술 정보 통신부는 2019 년 8 월 종 기원을 반도체 자회사 12 인치 테스트 베드 운영 기관으로 지정하고 총 450 억원을 투자 해 클린 룸과 코어를 구축했다. 17 일부터 장비 안정화를 위해 공식 서비스가 시작되었습니다.

40nm 패턴 웨이퍼

앞으로 국내 반도체 자회사들은 종 기원의 12 인치 테스트 베드를 활용 한 반도체 핵심 소재의 성능 테스트를 신속하게 지원할 수있게 될 것이며, 이는 국내 반도체 자회사가되는 데 필요한 시간과 비용을 획기적으로 줄여 줄 것입니다. 반도체 분야. .

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12 인치 테스트 베드 성능 평가 서비스

이조원 종 기원 이사는“현재 12 인치 테스트 베드는 40nm 패턴 웨이퍼를 생산할 수있는 인프라로 반도체 핵심 소재 (포토 레지스트 등) 지원에 집중할 계획이다. 장비 개발. 추가 장비를 구축하고 공정 기술을 개발할 계획입니다.”

과학 기술 정보 통신부 김봉수 기초 원천 연구 정책관은“반도체 산업은 국가 수출의 20 %를 차지하는 핵심 산업이다. “과학 기술 정보 통신부는 향후 반도체 분야 발전을위한 기초 및 원천 연구 지원과 병행하여 고도 인프라 지원을위한 투자 확대 및 기능 고도화 노력을 계속할 것”이라고 말했다.





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