2021.03.16 06:00 입력
3,000 억원 투자 시가의 9 배 이상
반도체 생산 용 EUV 핵심 장비 … 연간 40 대 생산
삼성 전자, EUV 분쟁에서 유리한 위치 선점
15 일 금융 감독원 전자 공시 시스템에 따르면 지난해 말 기준 삼성 전자가 보유한 ASML 주식수는 6297,000,871 주, 장부 금액 (시장 가치)은 3 조 350.5 억원이다. 전년 (2 조 1547 억원)보다 1 조원 이상 뛰었다. 인수 비용 (363 억원)에 비해 9 배 이상 증가했다.
앞서 삼성 전자가 2016 년 당시 보유했던 ASML 지분 3 %를 유지한다면 더 큰 수익을 올릴 수있다. 2012 년 ASML이 EUV 장비로 기술을 바꾸려하자 TSMC, 삼성 전자, 인텔은 주식 투자에 돌입했다. 인텔과 TSMC는 각각 ASML 지분 15 %, 5 %, 삼성 전자 3 %를 매입했다. 삼성 전자는 2016 년 지분 절반을 매각 해 초기 매입액을 회수 한 뒤 1.5 % 지분을 유지하고있다.
삼성 전자는 ASML 지분을 통해 고수익을 달성했지만 단순한 투자 목적이 아닌 장비 확보에 유리한 위치를 유지하려는 의도를 무시할 수없는 것으로 분석된다. 반도체 업체 관계자는 “과거 글로벌 반도체 산업이 ASML에 투자했을 때 EUV 노광 장비 공급 순서는 지분율에 따라 결정됐다”고 지적했다.
지난해 ASML 매출 비중을 보면 대만이 36 %, 한국이 31 %를 차지했다. 2019 년 대만은 51 %를 기록했습니다. 이는 한국보다 대만으로 향하는 EUV 장비가 더 많았다는 의미로 해석된다.
ASML은 EUV 노출 장비의 세계 유일의 제조업체 및 공급 업체입니다. EUV는 빛의 파장이 기존의 아르곤 플루오 라이드 (ArF)보다 14 배 짧기 때문에 미세 회로를 그리는 데 유용합니다. 작은 종이에 그림을 그릴 때 색연필을 사용하면 크레용보다 더 정교하게 그릴 수있는 것과 같은 맥락입니다. 최근 몇 년 동안 EUV 노광 장비는 7nm (나노 미터 · 1nm = 10 억분의 1 미터) 공정에서 5nm 이하의 초 미세 공정에 도달하여 반도체 산업에서 없어서는 안될 요소가되었습니다. 대만 TSMC와 세계 1, 2 위 반도체 파운드리 (위탁 생산) 인 삼성 전자가 ASML의 장비 공급을 놓고 경쟁하는 이유 다.
그러나 EUV 노광 장비 수요에 비해 공급이 매우 부족합니다. 개당 가격은 약 1,800 억원으로 알려졌지만 지난해 출하량은 31 대에 불과했다. 주문자 인 TSMC와 삼성 전자가 고개를 숙일 수밖에없는 ‘슈퍼을’이 된 배경이다. 이재용 삼성 전자 부회장이 지난해 신종 코로나 바이러스 감염증 (코로나 19)에도 불구하고 네덜란드 ASML 본사를 방문해 물품 확보를 요청한 것으로 알려졌다.
올해 40 대가 생산 될 것으로 예상되며이를 확보하기 위해 세계 반도체 산업이 본격화되고있다. SK 하이닉스는 최근 올해부터 2025 년까지 4.75 조원 규모의 EUV 장비를 수입하기로 결정했다고 밝혔다. 장비 운송 및 설치 비용을 감안하면 총 17 ~ 18 대가 도입 될 것으로 추정된다.
TSMC는 이미 올해 총 투자액 280 억 달러 (약 31 조원)의 약 80 %를 3 나노, 5 나노 등 첨단 공정에 배정하겠다고 밝혔다. 삼성 전자도 TSMC에 대응하여 생산 시설을 갖추기 위해 노력하고있어 EUV 노광 장비 전투가 심화 될 것으로 보인다.