EUV 펠리클 개발 속도가 빨라질 것
삼성 전자는 반도체 소재 장비 업체 인 FST에 430 억원을 투자하기로했다. 삼성 전자는 주요 반도체 파트너 사에 연속 투자를 통해 공급망을 구축하고 있습니다.
2 일 FST는 유상 증자로 삼성 전자에 1,522975 개의 신주를 발행하기로 결정했다고 밝혔다. 발행 가격은 28,240 원입니다. 총액은 430 억원이다. 증자가 완료되면 삼성 전자가 FST 지분 6.9 %를 보유하게된다. 장명식 회장과 FST 비상장 계열사 인 SAM 테크놀로지에 이어 삼성 전자가 3 대 주주가된다.
FST는 시설 자금 300 억원, 시설 자금 130 억원을 사용할 계획이라고 밝혔다.
FST의 주요 판매처는 반도체 생산 과정에서 프로세서 챔버 내부의 온도를 제어하는 먼지와 냉각기로부터 마스크를 보호하는 펠리클입니다. 판매 점유율은 각각 약 절반입니다. FST는 차세대 성장 동력 사업으로 극 자외선 (EUV) 용 펠리클을 개발하고 있습니다. 올해 1 분기에 회사의 목표는 실리콘 카바이드 (SiC) 소재 기반, 30 나노 두께, 90 % 투과율 사양을 갖춘 ‘풀 사이즈’EUV 펠리클을 출시하는 것입니다. 현재 EUV 펠리클을 제대로 양산 할 수있는 곳이 없기 때문에 전문가들은 개발이 성공하면 판매에 큰 기여를 할 것이라고 믿습니다. 삼성 전자도이 미래 가능성에 투자 한 것으로 분석된다.
삼성 전자는 지난해 S & S 테크 (65 억원, 블랭크 마스크, 펠리클), YIK (473 억원, 전 공정 검사 장비), 케이씨텍 (207 억원, 세정 장비 및 CMP 슬러리), 미코 세라믹스 (21.6 억원)를 보았다. 억원, 세라믹 부품). ), LOT Vacuum (187 억원, 진공 장비), New Power Plasma (127 억원, 플라즈마 발생 부품) 등이있다. 또한 삼성 전자는 A-Tech Solutions (15.9 %) 등 여러 협력사 지분을 보유하고 있으며, 원익 IPS (3.8 %), 원익 홀딩스 (2.3 %), 동진 세미켐 (4.8 %), 솔 브레인 홀딩스 (4.8 %).
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